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摘要：本申请涉及一种声学滤波器及其制作方法，包括衬底，衬底第一表面设置有若干个功能区和若干个焊盘，功能区之间和焊盘周围设置有围墙结构体，围墙结构体在功能区和焊盘处开口，并高于功能区和焊盘，围墙结构体上方设置有盖板，盖板与围墙结构体在功能区形成空腔，在焊盘上方设置有若干个贯穿盖板的通孔，通孔中设置有导电体，导电体与焊盘电性连接，导电体连接焊球，围墙结构体下方设置有多个分立的柱体或渐缩形的延伸部，延伸部伸入衬底内部。本申请构造分立的延伸部，使围墙材料与衬底的结合更紧密，提高滤波器结构的可靠性，进而有效防止功能区被污染而影响器件性能；提高了设计自由度，可减宽围墙，提高功能区的使用面积，降低芯片制造成本。
主权项：1.一种声学滤波器，包括：衬底，所述衬底第一表面设置有若干个功能区和若干个焊盘，所述功能区之间和焊盘周围设置有围墙结构体，所述围墙结构体在所述功能区和所述焊盘处开口，并高于所述功能区和焊盘，所述围墙结构体上方设置有盖板，所述盖板与所述围墙结构体在所述功能区形成空腔，在所述焊盘上方设置有若干个贯穿所述盖板的通孔，所述通孔处设置有导电体，所述导电体与所述焊盘电性连接，所述导电体连接焊球，其特征在于，所述围墙结构体下方设置有多个分立的柱体或渐缩形的延伸部，所述延伸部伸入所述衬底内部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 厦门云天半导体科技有限公司 一种声学滤波器及其制作方法
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