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摘要:本发明涉及激光技术领域,提供一种脉冲激光诱导半导体设备漂白方法,包括:确定所述半导体设备的材料类别及形态类别;基于所述半导体设备的材料类别及形态类别确定输入所述脉冲激光的激光参数,其中,所述激光参数包括激光脉宽、激光能量密度以及激光重复频率;通过具有所述激光参数的所述脉冲激光照射所述半导体设备对其进行漂白,响应于所述脉冲激光照射到所述半导体设备,所述半导体设备被漂白;响应于所述脉冲激光停止照射所述半导体设备,所述半导体设备恢复初始性能。本申请可以针对对应材料的半导体及其探测器可以进行非损伤可逆且不造成像元饱和使光电探测器失灵的干扰,从而提高了激光干扰探测器系统的效率和效果。
主权项:1.一种脉冲激光诱导半导体设备漂白方法,其特征在于,包括:确定所述半导体设备的材料类别及形态类别;基于所述半导体设备的材料类别及形态类别确定输入所述脉冲激光的激光参数,其中,所述激光参数包括激光脉宽、激光能量密度以及激光重复频率;通过具有所述激光参数的所述脉冲激光照射所述半导体设备对其进行漂白,响应于所述脉冲激光照射到所述半导体设备,所述半导体设备被漂白;响应于所述脉冲激光停止照射所述半导体设备,所述半导体设备恢复初始性能。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种脉冲激光诱导半导体设备漂白方法
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