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摘要：本申请涉及一种变压器油溶解气体的芯片阵列测量系统及其测量方法。测量系统包括：气体分离模块、气敏芯片阵列和数据处理模块，气体分离模块用于对溶解气体进行分离，以得到多种待测气体；气敏芯片阵列连接气体分离模块，气敏芯片阵列用于对多种待测气体进行检测，以得到多个检测信号；数据处理模块连接气敏芯片阵列，数据处理模块用于根据多个检测信号得到测量数据。本申请通过设置MEMS气敏芯片阵列来对多种待测气体进行检测，MEMS气敏芯片阵列通过利用感受元件吸附气体分子后造成的体积变化来改变电学特性（如电阻、电容等），其具有体积小、敏感度高、分辨率高、响应速度快等特点，可实现气体的多种参数检测。
主权项：1.一种变压器油溶解气体的芯片阵列测量系统，其特征在于，包括：气体分离模块，所述气体分离模块用于对溶解气体进行分离，以得到多种待测气体；MEMS气敏芯片阵列，所述MEMS气敏芯片阵列连接所述气体分离模块，所述MEMS气敏芯片阵列用于对多种所述待测气体进行检测，以得到多个检测信号；数据处理模块，所述数据处理模块连接所述MEMS气敏芯片阵列，所述数据处理模块用于根据多个所述检测信号得到测量数据。
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百度查询： 南方电网传感科技(广东)有限公司 变压器油溶解气体的芯片阵列测量系统及其测量方法
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