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摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，且公开了一种半导体加工基板翻转装置及其翻转方法，包括主体和两个连接板，两个连接板均固定连接在主体顶部，双轴电机左侧中轴处开设有升降孔，还包括传输机构，传输机构设置在两个连接板之间，传输机构包括有两个限位滑动架，两个限位滑动架分别滑动连接在两个升降孔内部。本发明可以在限位滑动架下降过程中自动对嵌合抵板上的基板进行夹持，代替了具有单独驱动机构的夹持装置，避免夹持装置上的驱动机构故障时基板移动到夹持装置内部进行旋转会导致基板没有夹紧而发生掉落，降低了基板因为在翻转过程中掉落发生损坏的现象，从而提高了半导体加工的效率。
主权项：1.一种半导体加工基板翻转装置，包括主体1和两个连接板103，两个所述连接板103均固定连接在主体1顶部，所述双轴电机102左侧中轴处开设有升降孔105，其特征在于，还包括：传输机构2，所述传输机构2设置在两个连接板103之间，所述传输机构2包括有两个限位滑动架205，两个所述限位滑动架205分别滑动连接在两个升降孔105内部；定位机构4，所述定位机构4设置在限位滑动架205底部，所述定位机构4包括有条形滑孔架404，所述条形滑孔架404转动连接在限位滑动架205底部，所述条形滑孔架404远离限位滑动架205的一端滑动连接有双头转架405，所述双头转架405远离条形滑孔架404的同一端转动连接有内转架403；压紧机构5，所述压紧机构5设置在内转架403远离双头转架405的一端，所述压紧机构5包括有拉条501，所述拉条501固定连接在内转架403远离双头转架405的一端，所述拉条501外壁滑动连接有双条形孔架502，所述双条形孔架502远离拉条501的一端固定连接有下压架503，所述下压架503远离双条形孔架502的一端固定连接有压紧轮504。
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百度查询： 浙江精瓷半导体有限责任公司 一种半导体加工基板翻转装置及其翻转方法
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