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摘要：一种晶粒均匀高致密大尺寸钼靶材的制备方法，采用冷等静压成型将钼粉制备成钼管坯；对钼管坯进行多阶段烧结后进行锻造得到钼管；将钼管进行退火热处理得到钼靶材；多阶段烧结工艺为：升温至500‑700℃，保温2.5‑3.5h；然后升温至1100‑1300℃，保温2.5‑3.5h；然后升温至1400‑1600℃，保温3.5‑4.5h；再升温至1700‑1900℃，保温3.5‑4.5h；最后升温至2000‑2100℃，保温4.5‑5.5h，本发明，得到的钼靶材晶粒细小均匀且致密度较大。
主权项：1.一种晶粒均匀高致密大尺寸钼靶材的制备方法，其特征在于：采用冷等静压成型将钼粉制备成钼管坯；对钼管坯进行多阶段烧结后进行锻造得到钼管；将钼管进行退火热处理得到钼靶材；多阶段烧结工艺为：升温至500-700℃，保温2.5-3.5h；然后升温至1100-1300℃，保温2.5-3.5h；然后升温至1400-1600℃，保温3.5-4.5h；再升温至1700-1900℃，保温3.5-4.5h；最后升温至2000-2100℃，保温4.5-5.5h。
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百度查询： 河南科技大学 一种晶粒均匀高致密大尺寸钼靶材的制备方法
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