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摘要：本发明涉及一种可集成化石英晶体振荡器，包括石英晶振单元，其包括电极组件和石英薄膜，电极组件包括上电极和下电极，所述石英薄膜设置于上电极和下电极之间，且所述石英薄膜分别与所述上电极和所述下电极面接触；电路单元，其包括ASIC电路，所述石英晶振单元的输入端、输出端与所述ASIC电路电连接；支撑单元，其包括硅衬底和二氧化硅层，硅衬底位于底部，二氧化硅层形成于所述硅衬底的上表面，石英晶振单元与电路单元集成于支撑单元。本发明的石英晶振单元拥有含硅衬底的支撑单元，从而能够使石英晶振与ASIC电路集成于同一硅衬底上，实现了石英晶体振荡器的高度集成化，由此能够大幅缩小体积，同时可以有效提升石英晶体振荡器的相位噪声特性。
主权项：1.一种可集成化石英晶体振荡器，其特征在于：包括，石英晶振单元，其包括电极组件和石英薄膜，所述电极组件包括上电极和下电极，所述石英薄膜设置于所述上电极和所述下电极之间，且所述石英薄膜分别与所述上电极和所述下电极面接触；电路单元，其包括ASIC电路，所述石英晶振单元的输入端、输出端与所述ASIC电路电连接；支撑单元，其包括硅衬底和二氧化硅层，所述硅衬底位于底部，所述二氧化硅层形成于所述硅衬底的上表面，所述石英晶振单元与所述电路单元集成于所述支撑单元。
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百度查询： 苏州大学 一种可集成化石英晶体振荡器
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