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一种具有钽钛互嵌结构的异质碳化物或氮化物涂层及其制备方法 

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摘要:本发明提出了一种具有钽钛互嵌结构的异质碳化物或氮化物涂层的制备方法,包括以下步骤:S1,在钽基片的表面间隔开设多条沟槽,随后在沟槽内铺设钛粉,钛粉高出沟槽顶部1.5‑2.5mm,预压钛粉使其与钽基片表面齐平,随后放入真空热压烧结炉内烧结得到钽钛互嵌结构的基片;S2,将钽钛互嵌结构的基片置于气相沉积设备的反应腔内,真空环境下通入氢气轰击基片,去除表面杂质;S3,通入含有碳源或氮源以及氢气的混合气体,进行碳化或氮化沉积得到互嵌结构的异质碳化物或氮化物梯度涂层。本发明利用金属基体之间相互嵌入的耦合形式,有效解决了钽钛金属层状结构存在的固有结构缺陷和性能限制,克服了表面单一组元碳氮化物层综合防护性能不能兼具的技术问题。

主权项:1.一种具有钽钛互嵌结构的异质碳化物或氮化物涂层的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:S1,在钽基片的表面间隔开设多条沟槽,随后在沟槽内铺设钛粉,钛粉高出沟槽顶部1.5-2.5mm,预压钛粉使其与钽基片表面齐平,随后放入真空热压烧结炉内烧结得到钽钛互嵌结构的基片;S2,将钽钛互嵌结构的基片置于气相沉积设备的反应腔内,真空环境下通入氢气轰击基片,去除表面杂质;S3,通入含有碳源或氮源以及氢气的混合气体,进行碳化或氮化沉积得到互嵌结构的异质碳化物或氮化物梯度涂层。

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权利要求:

百度查询: 武汉理工大学 一种具有钽钛互嵌结构的异质碳化物或氮化物涂层及其制备方法

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