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摘要：一种电子束斑形状重建单元，包括处理电路和存储器单元。处理电路被配置为通过以下操作重建电子束斑的形状：i获得样品的圆形目标的多组图像，其中多组图像中的不同组图像与不同的极角相关联；ii处理多组图像中的至少两组图像以确定第一轴边缘宽度信息和第二轴边缘宽度信息；以及iii基于第一轴边缘宽度信息和第二轴边缘宽度信息来重建电子束斑形状。
主权项：1.一种电子束斑形状重建单元，包括：处理电路；以及存储器单元；其中所述处理电路被配置为通过以下操作重建电子束斑的形状：获得样品的圆形目标的多组图像，其中所述多组图像中的不同组图像与不同的极角相关联；处理所述多组图像中的至少两组图像以确定第一轴边缘宽度信息和第二轴边缘宽度信息；以及基于所述第一轴边缘宽度信息和所述第二轴边缘宽度信息来重建所述电子束斑形状。
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百度查询： 应用材料以色列公司 电子束斑形状重建单元
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