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一种高效的金属镱靶材生产工艺 

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摘要:本发明公开了一种高效的金属镱靶材生产工艺;本发明属于金属材料制备技术领域,本发明的工艺包括原料精选、真空熔炼定向凝固、机械处理和精密加工步骤,通过严格控制各环节的工艺参数,生产出具有高纯度、高密度、优良结晶组织的金属镱靶材,满足半导体、oled显示等高端领域的应用需求;本发明提高了金属镱靶材的生产效率和产品质量,具有良好的市场应用前景。

主权项:1.一种高效的金属镱靶材生产工艺,其特征在于:所述生产工艺包括如下步骤:1原料精选:选用金属镱原料,并进行成分分析和杂质检测,并进行剪切装入柱状模具后进行挤压处理,使原料在模具中填充均匀成为生坯;2真空熔炼:将装生胚置于杂质过滤处理盒中,放入真空热处理炉内,抽真空,分四个区间段进行逐步升温,温度升至1200度进行熔炼,使生胚致密化,确保原料充分熔化并均匀混合,使杂质吸附在过滤盒表面,模具内得到纯度大于99.99%以上、总杂质元素含量低于80ppm的金属镱;3定向凝固:熔炼结束后降温凝固处理后接入高纯氩气进行气体保护,控制氧、氢、等其他杂质元素进入,以同时保证靶材内部无气孔夹杂和外表无缩孔,金属镱在模具内形成柱状组织,致密度为6.972-6.98克立方厘米,晶粒度在0.5-2微米之间;4模具去除:利用车床设备,将凝固后的材料用特制的刀具进行模具去除并且切割成所需高度的毛坯材料;5精密加工:利用数控设备,将所需尺寸的毛坯料进行精密加工成所需尺寸的靶材;6清洗,检验,包装:加工后的靶材利用无水酒精进行擦拭清洁去除微小加工碎屑,将合格的靶材用真空袋进行真空包装。

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