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摘要：本发明提供了一种铝钪合金靶材及其制备方法、应用，涉及铝合金靶材加工的技术领域，包括以下步骤：铝钪合金锭经喷射沉积后得到铝钪合金靶坯，再进行致密化处理，机加工，得到铝钪合金靶材。本发明解决了现有技术以铸造方式生产高钪含量的铝钪合金靶材时Al3Sc粒子大、分布不均匀、裂纹以及孔洞缺陷多的技术问题，同时也避免了粉末冶金法生产时的工艺复杂、氧含量高以及价格高的问题，达到了铝钪合金靶材的Al3Sc粒子细小、含氧低、成分均匀以及无裂纹的技术效果。
主权项：1.一种铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：铝钪合金锭经喷射沉积后得到铝钪合金靶坯，再进行致密化处理，机加工，得到所述铝钪合金靶材；所述喷射沉积的方法包括以下步骤：铝钪合金锭在喷射沉积炉中熔化后得到熔体，再注入漏包中，之后喷射沉积在收集盘上并冷却，得到所述铝钪合金靶坯；所述喷射沉积炉的真空度在3×10-2~3×10-3MPa之间；所述熔体的温度为1000~1500℃；所述漏包的温度为800~1000℃；所述喷射沉积的导流管的直径为2~5mm；所述喷射沉积的雾化气体包括Ar和N2中的至少一种；所述雾化气体的压力为0.5~2MPa；所述喷射沉积的沉积距离为100~400mm；所述收集盘的转速为50~100转分钟；所述收集盘的下降速度为10~500mm分钟；所述收集盘包括带有冷却功能的收集盘；所述冷却的方式包括采用冷却水进行冷却；所述冷却水的水压为1~2MPa；所述铝钪合金锭的制备方法包括以下步骤：金属铝和金属钪混合熔炼，得到所述铝钪合金锭；所述熔炼包括真空熔炼；所述熔炼的真空度在3×10-2~3×10-3MPa之间；所述熔炼的温度为1000~1500℃，熔炼的时间为0.5~1h；所述致密化处理包括等静压处理；所述等静压处理的温度为500~700℃；所述等静压处理的压力为100~300MPa，等静压处理的时间为3~5h；所述铝钪合金靶材的钪含量在15at%以上；所述铝钪合金靶材的氧含量为100~600ppm；所述铝钪合金靶材中Al3Sc粒子的尺寸为25~80μm。
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百度查询： 湖南东方钪业股份有限公司 铝钪合金靶材及其制备方法、应用
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