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摘要:本发明公开了一种用于电池片无损激光划片机的定位机构,涉及划片机技术领域,包括工作台,同轴固接于工作台顶部的凸台,凸台内部开设有连通腔,凸台的顶面开设有多个与连通腔相贯通的吸附孔;连接于工作台上的滑动座,滑动座在工作台上沿工作台的径向自由滑动,滑动座上表面固接有夹持块;设于工作台上的负压吸附机构;设于工作台上的平移驱动机构,平移驱动机构用于驱动多个滑动座运动。本发明通过负压吸附机构对晶圆进行负压吸附,再通过平移驱动机构对晶圆的边缘进行夹持,使得晶圆能够自动定心,进而将晶圆定位在凸台上,减少光学相机或CT对晶圆加工位置进行定位过程中所耗费时间,同时减少了晶圆定位偏差,提高晶圆的加工效率。
主权项:1.一种用于电池片无损激光划片机的定位机构,包括激光划片机的工作台(1),其特征在于,还包括:同轴固接于所述工作台(1)顶部的凸台(2),所述凸台(2)内部开设有连通腔(10),所述凸台(2)的顶面开设有多个与所述连通腔(10)相贯通的吸附孔(9);连接于所述工作台(1)上的滑动座(3),所述滑动座(3)在所述工作台(1)上沿所述工作台(1)的径向自由滑动,所述滑动座(3)上表面固接有夹持块(7);设于所述工作台(1)上的负压吸附机构;设于所述工作台(1)上的平移驱动机构,所述平移驱动机构用于驱动多个所述滑动座(3)运动。
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百度查询: 安徽天大新能源有限公司 一种用于电池片无损激光划片机的定位机构
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