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摘要：本发明属于集成电路制造技术领域，具体公开了一种工作台及背面对准装置。本发明公开的工作台包括水平基座、气足、吸盘和第一导气组件；水平基座上开设有贯穿水平基座上表面的透光孔；气足设置在水平基座上，且能相对水平基座在水平面上移动，气足上间隔开设有多个第一通光孔，当气足在水平基座上移动时，多个第一通光孔能分别与透光孔导通；吸盘设置在气足上方，能相对气足进行三个自由度上的转动及沿垂直方向平移，吸盘对应于第一通光孔的位置开设有第二通光孔；第一导气组件，吸盘上表面设置有用于吸附基底的第一吸附气道，第一导气组件一端与气足连通，另一端与第一吸附气道连通。本发明提供的工作台及背面对准装置，结构简单，成本较低。
主权项：1.一种工作台，其特征在于，包括：水平基座1，其上开设有贯穿所述水平基座1上表面的透光孔11，所述透光孔11内设置有第一透光片12；气足2，设置在所述水平基座1上，且能相对所述水平基座1在水平面上移动，所述气足2上间隔开设有多个第一通光孔211，当所述气足2在所述水平基座1上移动时，多个所述第一通光孔211能分别与所述透光孔11导通；吸盘5，设置在所述气足2上方，所述吸盘5能相对所述气足2进行三个自由度上的转动及能相对所述气足2沿垂直方向平移，所述吸盘5对应于所述第一通光孔211的位置开设有第二通光孔51，所述第一通光孔211与所述第二通光孔51连通，所述第二通光孔51内设置有第二透光片52，所述吸盘5上表面还设置有用于吸附基底20的第一吸附气道；第一导气组件6，所述第一导气组件6一端与所述气足2内部连通，另一端与所述第一吸附气道连通；吸盘座4，上端与所述吸盘5连接，下端与所述气足2连接；所述吸盘座4对应于所述第一通光孔211的位置开设有第三通光孔41，所述第三通光孔41分别与所述第一通光孔211和所述第二通光孔51连通；所述吸盘座4的上表面和所述吸盘5的下表面中的至少一个开设有第二吸附气道42，所述第一导气组件6与所述第二吸附气道42连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种工作台及背面对准装置
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