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摘要：各种实施例的多个方面涉及传感器装置及其方法。一种示例传感器装置包括电容器和传感器电路系统。电容器包括具有第一电极的第一基板、具有第二电极的第二基板、以及电介质层。电介质层具有布置成图案的多个孔，第一电极和第二电极被电介质层隔开并且相对于彼此具有重叠区域。传感器电路系统被耦合到电容器，并且被配置成且被布置成用于基于从以下至少一项导出的电容的变化来检测施加于传感器装置的法向力和剪切力：第一电极与第二电极之间的距离、以及第一电极和第二电极的重叠区域。
主权项：1.一种传感器装置，包括：电容器，所述电容器包括：具有第一电极的第一基板；具有第二电极的第二基板；以及电介质层，所述电介质层具有电介质材料部分，所述电介质材料部分包封多个孔并且不填充所述多个孔，所述第一电极和所述第二电极被所述电介质材料部分隔开并且相对于彼此布置有重叠区域；以及传感器电路系统，所述传感器电路系统耦合到所述电容器，并且用于基于从以下至少一项的变化导出的电容的变化来检测施加于所述传感器装置的法向力和剪切力：所述第一电极与所述第二电极之间的距离、以及所述第一电极和所述第二电极的所述重叠区域。
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百度查询： 小利兰·斯坦福大学托管委员会 电容式和触觉传感器及相关感测方法
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