龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：提供了一种用于检测存储在替换部件存储容器处的替换部件、晶片或用于替换部件的空载体的位置的方法。在电子处理系统的工厂接口的装载端口处接收容器。容器配置为存储用于电子处理系统的处理腔室的替换部件。根据第一映射模式移动机械臂，以使用在机械臂的终端受动器的远端处的检测系统来识别容器中的一个或多个替换部件的位置。确定容器的不包含替换部件的区域。根据第二映射模式移动机械臂，以使用检测系统在容器的不包含替换部件的区域内识别晶片或用于替换部件的空载体中至少一者在容器中的位置。在存储介质中记录一个或多个替换部件在容器中的位置的映射和空载体或晶片中的至少一者在容器中的位置的映射。
主权项：1.一种方法，包括：在电子处理系统的工厂接口的装载端口处接收容器，所述容器配置为存储用于所述电子处理系统的处理腔室的替换部件；根据第一映射模式来移动机械臂，以使用在所述机械臂的终端受动器的远端处的检测系统来识别所述容器中的一个或多个替换部件的位置，其中所述检测系统包括发射组件和感测组件，并且其中所述检测系统响应于从所述发射组件引导到所述感测组件的射束被物体阻断而检测到所述物体；确定所述容器的不包含替换部件的区域；根据第二映射模式来移动所述机械臂，以使用在所述终端受动器的所述远端处的所述检测系统在所述容器的所述不包含替换部件的区域内识别晶片或用于替换部件的空载体中的至少一者在所述容器中的位置；以及在存储介质中记录所述一个或多个替换部件在所述容器中的位置的映射和所述空载体或所述晶片中的至少一者在所述容器中的位置的映射。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 替换部件存储容器的映射
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号