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一种基片下料器 

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摘要:一种基片下料器,包括取料机构、调位机构、收集框。取料机构包括直线机构,其输出轴一端设有真空吸盘。调位机构设于取料机构下方,包括呈圆周阵列设置且数量为偶数的多个U型架,U型架两竖边之间的一侧设有转板,U型架横边内侧面设有弹簧,弹簧一端设有位于转板外侧的推块。收集框装配于调位机构下端。该基片下料器能够在真空镀膜后快速进行基片的下料和收集,可提高工作效率,并且适用于对不同大小的基片进行下料、收集,通用性较强。

主权项:1.一种基片下料器,其特征在于,包括:取料机构(2),包括直线机构(21),其输出轴一端设有真空吸盘(23);调位机构(3),设于取料机构(2)下方,包括呈圆周阵列设置且数量为偶数的多个U型架(32),U型架(32)两竖边之间的一侧设有转板(34),U型架(32)横边内侧面设有弹簧(35),弹簧(35)一端设有位于转板(34)外侧的推块(36);收集框(4),装配于调位机构(3)下端。

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