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摘要：本发明公开了一种带有温控载台的晶圆点测机，涉及晶圆点测机技术领域，包括检测台，所述检测台的顶端安装有三轴滑台，所述三轴滑台的Z轴滑台上安装有检测头，所述检测头上安装有探针，所述检测台的顶端位于所述检测头的下方固定连接有三个安装柱，所述安装柱的顶端固定连接有放置台，所述放置台用于对晶圆进行放置操作，还包括控温机构、安装机构和定位机构。本发明设置有控温机构，通过定位机构将晶圆定位在放置台内，晶圆放置在导温板上，连接管输送不同温度的液体通过连接口进入温控台内，导向框使得液体在温控台内充分流动，温控台内的温度通过导温板传递至晶圆上，用于对晶圆的温度进行快速的调节操作。

主权项：1.一种带有温控载台的晶圆点测机，包括检测台（1），所述检测台（1）的顶端安装有三轴滑台（2），所述三轴滑台（2）的Z轴滑台上安装有检测头（3），所述检测头（3）上安装有探针，其特征在于，所述检测台（1）的顶端位于所述检测头（3）的下方固定连接有三个安装柱（4），所述安装柱（4）的顶端固定连接有放置台（5），所述放置台（5）用于对晶圆进行放置操作，晶圆通过控温机构（6）调节温度，所述控温机构（6）包括有温控台（601），所述温控台（601）设置于三个所述安装柱（4）之间并位于所述放置台（5）的底端，所述温控台（601）的外壁安装有两个连接口（602），所述连接口（602）的一端通过连接法兰（604）连接有连接管（603），所述放置台（5）的内腔底端固定连接有导温板（605），所述温控台（601）的顶端开设有连接槽（606），所述连接槽（606）的内壁螺纹连接有顶盖（607），所述连接槽（606）的内壁底端安装有密封圈（608），所述温控台（601）的内腔底端安装有导向框（609），所述温控台（601）通过安装机构（7）安装于所述放置台（5）的底端，不同大小的晶圆通过定位机构（8）定位在所述放置台（5）内；所述安装机构（7）包括有竖槽（701），所述竖槽（701）开设于所述检测台（1）的顶端，所述竖槽（701）的内壁一侧开设有横槽（702），所述横槽（702）位于所述放置台（5）的下方，所述竖槽（701）的内壁转动连接有定位杆（704），所述放置台（5）的外壁位于所述定位杆（704）的顶端固定连接有凸块（703），所述定位杆（704）的底端固定连接有转动板（705），所述横槽（702）的内壁滑动连接有推板（706），所述推板（706）的顶端固定连接有延伸至所述安装柱（4）内部的顶杆（707），所述安装柱（4）的内部滑动连接有延伸出所述安装柱（4）的固定块（708），所述固定块（708）位于所述顶杆（707）的顶端，所述固定块（708）的外壁固定连接有弹性片（709），所述温控台（601）的外壁开设有固定槽（710）；所述安装机构（7）还包括有转动盘（711），所述转动盘（711）固定连接于所述定位杆（704）的一端并位于所述检测台（1）的外壁，所述检测台（1）的外壁位于所述转动盘（711）的外圈固定连接有定位环（712），所述定位环（712）的内壁开设有第一定位槽（713）和第二定位槽（714），所述转动盘（711）的内部滑动连接有定位架（715），所述转动盘（711）的内部位于所述定位架（715）的顶端转动连接有第一直齿轮（716），所述转动盘（711）的内部位于所述第一直齿轮（716）的顶端滑动连接有位移块（717），所述位移块（717）的一端延伸出所述转动盘（711），所述位移块（717）的另一端与所述转动盘（711）之间连接有弹簧（718）；所述定位机构（8）包括有环形槽（801），所述放置台（5）的内腔开设有环形槽（801），所述环形槽（801）的内壁转动连接有第二直齿轮（802），所述第二直齿轮（802）的外壁固定连接有转动架（803），所述放置台（5）的内部位于所述第二直齿轮（802）的外壁转动连接有齿环（804），所述放置台（5）的内部位于所述齿环（804）的外壁转动连接有第三直齿轮（805），所述第三直齿轮（805）的顶端位于所述放置台（5）的顶端固定连接有棘轮（806），所述放置台（5）的顶端位于所述棘轮（806）的一侧设置有卡块（807），所述卡块（807）通过连接轴（808）与所述放置台（5）转动连接，所述卡块（807）与所述放置台（5）之间位于所述连接轴（808）的外壁连接有扭簧（809）；所述固定块（708）的外壁与所述固定槽（710）的内壁相贴合，所述固定块（708）的底端设置有斜面，所述顶杆（707）的顶端与所述斜面相接触。

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百度查询： 山东强茂电子科技有限公司 一种带有温控载台的晶圆点测机