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摘要：本申请公开了一种方便下料的单晶硅生长炉，包括底座、下炉体、上炉体、炉盖、连接室、副室、第一驱动部、第二驱动部、第三驱动部、提拉旋转驱动单元、坩埚、加热单元、坩埚旋转驱动单元、冷却单元、保护气体供应单元以及控制单元。本申请的单晶硅生长炉，副室采用可以开合的方式，从而打开之后，可以截断硅棒的顶端，利用取料结构直接对硅棒进行取料，从而取料更加方便。并且具有竖直的较长的观察窗，提供了更广阔的视野，从而可以更好地观察副室内的硅棒的生长情况。还可以对副室两侧的第一包围板和第二包围板进行温度检测，从而对硅棒的生产过程进行更好的监控，提高硅棒的晶体质量。
主权项：1.一种方便下料的单晶硅生长炉，其特征在于，包括底座、下炉体、上炉体、炉盖、连接室、副室、用于驱动上炉体升降的第一驱动部、用于驱动炉盖升降和移动的第二驱动部、用于驱动副室升降和移动的第三驱动部、用于提拉和旋转硅棒的提拉旋转驱动单元、坩埚、加热单元、用于驱动坩埚旋转的坩埚旋转驱动单元、冷却单元、保护气体供应单元以及控制单元。
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权利要求：
百度查询： 江苏晶品新能源股份有限公司 一种方便下料的单晶硅生长炉
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