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微观装置的制造及其处理技术
  • 一种MEMS应力隔离机构及其设计方法
    一种MEMS应力隔离机构及其设计方法_浙江大学_202110097880.9
    本发明公开了一种MEMS应力隔离机构及其设计方法，属于MEMS机械设计领域，主要由环形或正多边形结构以及分布在波腹点和波节点的锚点构成。在MEMS器件加工或工作过程，由于多种材料膨胀系数失配和温度效应，MEMS器件会受到残余应力和热应力影响...
    2025-04-01
  • 具有间隙控制结构的微机电部件及其制造方法
    具有间隙控制结构的微机电部件及其制造方法_株式会社村田制作所_202411349296.8
    本公开内容描述了具有间隙控制结构的微机电部件以及用于制造该微机电部件的方法。该间隙控制结构包括MEMS元件内部的支架和相邻的共晶锚。该支架在部件的共晶键合期间提供了对间隙高度的准确控制，而锚改善了支架的机械锚定。
    2025-04-01
  • 半导体结构及其制作方法
    半导体结构及其制作方法_台湾积体电路制造股份有限公司_202210140057.6
    本发明实施例涉及半导体结构及其制作方法。本发明实施例提供一种半导体结构。所述半导体结构包含第一衬底、半导体层、第二衬底及共晶密封结构。所述半导体层在所述第一衬底上方。所述半导体层具有至少部分穿过所述半导体层的腔。所述第二衬底在所述半导体层上...
    2025-04-01
  • 微型装置及微机电系统驱动的梳状物
    微型装置及微机电系统驱动的梳状物_台湾积体电路制造股份有限公司_202420997101.X
    本实用新型提供一种微型装置及微机电系统驱动的梳状物。所述微型装置，包括第一基座、与第一基座平行的第二基座，第二基座包括位于其顶表面上的第一突起。所述装置还包括共形介电层和形成在共形介电层的部分上方的金属结构。金属结构包括环绕第一突起的第一部...
    2025-04-01
  • 一种微热板及其制作方法
    一种微热板及其制作方法_昆明理工大学_202411925525.6
    本发明属于微电子机械系统(MEMS)的气体传感器技术领域，尤其涉及一种微热板及其制作方法，微热板包括：衬底，衬底的顶面设置有绝缘层，衬底上周向等间隔开设有多个镂空结构，相邻两镂空结构之间形成悬臂梁，镂空结构贯穿绝缘层，绝缘层的顶面上集成有加...
    2025-04-01
  • 一种乳制品的冷藏运输装置
    一种乳制品的冷藏运输装置_西安宏兴乳业有限公司_202420803293.6
    本实用新型公开了乳制品冷藏运输技术领域的一种乳制品的冷藏运输装置，包括转运箱，还包括与转运箱顶部铰接的保温盖，安装于转运箱内部用来放置乳制品的摆放架，所述转运箱内侧壁开设有用来提供安装空间的隔温腔，所述隔温腔内设置有用来冷藏乳制品的保温部件...
    2025-04-01
  • MEMS器件及其制造方法
    MEMS器件及其制造方法_芯联集成电路制造股份有限公司_202411954231.6
    本申请提供一种MEMS器件及其制造方法，包括以下步骤：提供衬底，并在衬底中形成间隔设置的多个沟槽；形成第一掩膜层，以覆盖沟槽的侧壁、衬底的表面并密封沟槽的开口；对第一掩膜层进行图案化，以露出衬底的部分表面并定义出预定形成的第一梳齿的位置和尺...
    2025-04-01
  • MEMS器件及其制造方法
    MEMS器件及其制造方法_芯联集成电路制造股份有限公司_202411953860.7
    本申请提供一种MEMS器件及其制造方法，包括以下步骤：提供衬底，衬底包括镜面区域和位于镜面区域外侧的梳齿区域；刻蚀衬底以在镜面区域和梳齿区域形成间隔设置的多个沟槽；形成第一掩膜层，以覆盖沟槽的侧壁、衬底的表面并密封沟槽的开口；对第一掩膜层进...
    2025-04-01
  • 一种气体驱动单竖梁支撑MEMS微镜结构及其加工工艺
    一种气体驱动单竖梁支撑MEMS微镜结构及其加工工艺_上海蓝威微机电有限公司_202411825646.3
    本发明涉及微镜技术领域，尤其为一种气体驱动单竖梁支撑MEMS微镜结构及其加工工艺，包括第一硅片、第二硅片、第三硅片、微镜反射镜面以及支撑梁；第一硅片键合在第二硅片的一面；第二硅片上开设有用于微镜反射镜面活动的活动腔体；第三硅片键合在第二硅片...
    2025-04-01
  • 集成传感器装置
    集成传感器装置_英飞凌科技股份有限公司_202411307804.6
    本发明涉及集成传感器装置。根据实施例，传感器装置包括芯片载体、安装在芯片载体上的半导体芯片以及半导体芯片的连接面与芯片载体的对应的连接面之间的电连接。传感器装置还包括布置在半导体芯片上的具有传感器元件的传感器芯片。传感器芯片具有沟槽，所述沟...
    2025-04-01
  • 半导体设备、微机电系统气体传感器、方法
    半导体设备、微机电系统气体传感器、方法_英飞凌科技股份有限公司_202411331860.3
    本公开涉及半导体设备、微机电系统气体传感器、方法。示例提供了一种半导体设备。半导体设备包括辐射元件和检测元件。辐射元件包括用于辐射电磁波的辐射层。检测元件包括用于检测电磁波的检测层。此外，半导体设备包括衬底和界面层。界面层被布置在辐射元件和...
    2025-04-01
  • 一种具有优秀保温效果的高能效比转运包
    一种具有优秀保温效果的高能效比转运包_浙江华铸铸业科技有限公司_202421174564.2
    本实用新型公开了一种具有优秀保温效果的高能效比转运包，包括炉体，所述炉体外壁缠绕有感应加热用的线圈，所述炉体与所述线圈之间设置有保温层。本实用新型提供了一种具有优秀保温效果的高能效比转运包采用电磁感应加热方式，对转运包进行升温，再搭配设计了...
    2025-04-01
  • 微机械开关的制备方法及微机械开关
    微机械开关的制备方法及微机械开关_清华大学_202411754104.1
    本申请提供了一种微机械开关的制备方法和微机械开关，微机械开关的制备方法包括提供第一衬底，在第一衬底的一侧制备第一电极层。提供第二衬底，在第二衬底的一侧制备第一子保护层，在第一子保护层远离第二衬底的一侧制备单晶硅层。在单晶硅层远离衬底一侧制备...
    2025-04-01
  • 一种医学检验标本分类存储装置
    一种医学检验标本分类存储装置_齐齐哈尔市中医医院(齐齐哈尔市第三医院、黑龙江中医药大学齐齐哈尔临床医学院)_202411949085.8
    本发明提供一种医学检验标本分类存储装置，涉及医疗器械领域。该医学检验标本分类存储装置，包括箱体，所述箱体的外壁一侧通过铰链转动连接有箱门，所述箱体的内壁设置有承放机构，所述承放机构包括固定于箱体内壁的多个支撑板，多个所述支撑板的顶端固定连接...
    2025-04-01
  • 机动车锁、特别是机动车门锁
    机动车锁、特别是机动车门锁_开开特股份公司_202380059667.6
    本发明涉及一种机动车锁、特别是机动车门锁，其具有锁定机构(1、2)和电动驱动装置(4、5、6、7、8)，该锁定机构主要包括锁舌(1)和锁爪(2)，该电动驱动装置不仅作用于释放杆(3)以电动打开锁定机构(1、2)，而且在大多数情况下同时加载保...
    2025-04-01
  • 机动车锁，特别是机动车门锁
    机动车锁，特别是机动车门锁_开开特股份公司_202380053510.2
    本发明涉及一种机动车门锁、特别是机动车门锁，其配备有主要由锁叉(1)和锁爪(2)组成的锁定机构(1，2)。此外为锁定机构(1，2)提供了可围绕旋转轴线(4)旋转的释放杆(3)。另外提供了电动开启驱动装置(8，9)和连接到连接装置(11)的把...
    2025-04-01
  • MEMS控制器及MEMS器件
    MEMS控制器及MEMS器件_瑞声开泰科技(武汉)有限公司_202411924233.0
    本发明实施例提供一种MEMS控制器及MEMS器件，包括：至少一个控制单元，控制单元包括：相邻的锚定结构之间具有第一间隙；悬臂梁结构与锚定结构相对应，且每一悬臂梁结构的第一端位于相应的锚定结构的顶面，同一控制单元的相邻两个悬臂梁结构的第二端正...
    2025-04-01
  • MEMS控制器及MEMS器件
    MEMS控制器及MEMS器件_瑞声开泰科技(武汉)有限公司_202411919144.7
    本发明实施例提供一种MEMS控制器及MEMS器件，包括：至少一个控制单元，控制单元包括：相邻的第一锚点结构之间具有第一间隙；悬臂梁结构与第一锚点结构相对应，且每一悬臂梁结构的第一端位于相应的第一锚点结构的顶面，同一控制单元的相邻两个悬臂梁结...
    2025-04-01
  • 一种气体驱动MEMS微镜及制备方法
    一种气体驱动MEMS微镜及制备方法_上海蓝威微机电有限公司_202510109458.9
    本申请公开了一种气体驱动MEMS微镜及制备方法，该气体驱动MEMS微镜包括：上硅片、微镜硅片和下硅片；微镜硅片包括：转轴和转动镜片，转轴和转动镜片垂直于上硅片和下硅片设置，转轴贯穿转动镜片，且二者之间设有间隙；上硅片与下硅片分别键合在微镜硅...
    2025-04-01
  • 一种高密封性的防潮陶瓷茶叶罐
    一种高密封性的防潮陶瓷茶叶罐_福建省泉州达盛窑陶瓷有限公司_202421464955.8
    本实用新型公开了一种高密封性的防潮陶瓷茶叶罐，包括罐体和双重密封装置；本实用新型通过设置了双重密封装置，即配合连接环、第一密封层与第二密封层，可稳定密封相抵罐口外侧与内侧，实现双重密封防护，加强罐体密封防潮性，而受封堵组件内部所设连接轴、活...
    2025-04-01
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