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申请/专利权人：深圳先进技术研究院
申请日：2017-04-11
公开（公告）日：2017-12-26
公开（公告）号：CN206804195U
专利技术分类：
专利摘要：本实用新型实施方式公开了一种衬底，属于薄膜领域的技术方案，其核心在于所述衬底包括相对布置的测量面和镀膜面，所述测量面为抛光面；此方案可采用光杠杆法对所述衬底的测量面进行曲率半径测量，得出R'0镀薄膜前和R'镀薄膜后，最后代入薄膜应力计算公式便可得出薄膜应力σ，此方法对薄膜的反光能力并无要求，只要保证衬底的测量面为抛光面，便可应用光杆杠法得出薄膜应力σ，解决现有技术必须薄膜实现反光才能测量薄膜应力的问题。
专利权项：一种衬底，其特征在于，所述衬底包括相对布置的测量面和镀膜面，所述测量面为抛光面。
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