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申请/专利权人：光达光电设备科技（嘉兴）有限公司
申请日：2011-12-09
公开（公告）日：2012-08-22
公开（公告）号：CN202395025U
专利技术分类：..具有特定的形状，例如弯曲或截断的衬底[2010.01]
专利摘要：本实用新型实施例提供一种具有主动面和被动面的衬底，所述主动面用于形成LED器件或集成电路器件，所述被动面具有多条预切割通道，该预切割通道用于在形成所述LED器件或集成电路器件的工艺过程中释放所述衬底上的应力，该预切割通道的位置与即将形成的LED器件或集成电路器件的位置对应。在形成LED器件或集成电路器件的过程中，所述预切割通道可以将衬底上的应力释放，从而减小或消除衬底上的应力，有利于提高LED器件的良率。并且上述形成有预切割通道的衬底在LED器件或集成电路器件形成后，可以直接进行裂片，无需进行减薄、切割步骤，从而减少工艺步骤，简化工艺流程，提高LED器件的成品率、产量，降低LED器件的成本。
专利权项：一种衬底，其特征在于，所述衬底具有相对设置的主动面和被动面，所述主动面用于形成LED器件或集成电路器件，所述被动面具有多条预切割通道，所述预切割通道用于在形成所述LED器件或集成电路器件的工艺过程中释放所述衬底上的应力，所述预切割通道的位置与即将形成的LED器件或集成电路器件的位置对应。
百度查询： 光达光电设备科技（嘉兴）有限公司 衬底
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