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申请/专利权人：住友电气工业株式会社
申请日：2005-12-28
公开（公告）日：2009-01-21
公开（公告）号：CN101350302A
专利技术分类：......机械处理，例如研磨、抛光、切割[2006.01]
专利摘要：在本发明的GaN基板的研磨方法中，首先，一边将含研磨材23与润滑剂25的研磨液27供应至平台101，一边利用平台101与研磨液27研磨GaN基板第1研磨工序。其次，一边将润滑剂31供应至埋入研磨材29的平台101上，一边利用埋入研磨材29的平台101研磨GaN基板第2研磨工序。
专利权项：1.一种GaN基板，其通过如下研磨方法制作，所述研磨方法包括：第1研磨工序，一边将包含第1研磨材与第1润滑剂的研磨液供应至第1平台上，一边利用所述第1平台及所述研磨液研磨GaN基板；第2研磨工序，在所述第1研磨工序后，一边将第2润滑剂供应至埋入有第2研磨材的第2平台上，一边利用埋入有所述第2研磨材的所述第2平台研磨所述GaN基板；表面加工工序，在所述第2研磨工序前，对所述第2平台进行切削加工以使得平坦度为10μm以下；加料工序，在所述表面加工工序后、所述第2研磨工序前，将用于形成所述第2研磨材的第3研磨材埋入所述第2平台。
百度查询： 住友电气工业株式会社 GaN基板
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