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申请/专利权人：深圳市奥视微科技有限公司
申请日：2020-10-13
公开（公告）日：2021-03-19
公开（公告）号：CN212750916U
专利技术分类：..具有特定的形状，例如弯曲或截断的衬底[2010.01]
专利摘要：本实用新型公开一种GaN基板，包括衬底和位于衬底上方的GaN外延层，GaN外延层上设有由多个彼此独立的环状隔离部构成的翘曲消减结构；其中，各个环状隔离部相对于所述GaN外延层的上表面向下凹陷，每一个所述环状隔离部的内侧界定一个与待制造的显示芯片尺寸相适应的独立单元。本案通过在GaN外延层形成彼此多个彼此独立的环状隔离部构成的翘曲消减结构，从而达到有效释放薄膜应力，改善基板翘曲度的效果。
专利权项：1.一种GaN基板，包括衬底和位于所述衬底上方的GaN外延层，其特征在于：所述GaN外延层上设有由多个彼此独立的环状隔离部构成的翘曲消减结构；其中，各个所述的环状隔离部相对于所述GaN外延层的上表面为向下凹陷，每一个所述环状隔离部的内侧界定一个与待制造的显示芯片尺寸相适应的独立单元。
百度查询： 深圳市奥视微科技有限公司 GaN基板
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