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申请/专利权人：三菱瓦斯化学株式会社
申请日：2015-05-08
公开（公告）日：2017-02-22
公开（公告）号：CN106462059A
专利技术分类：.感光材料（G03F7/12，G03F7/14优先）[2006.01]
专利摘要：本发明的抗蚀材料含有下述式1所示的化合物。式1中，R0各自独立地为包含氧原子的1价基团、包含硫原子的1价基团、包含氮原子的1价基团、烃基或卤原子，p各自独立地为0～4的整数。
专利权项：一种抗蚀材料，其含有下述式1所示的化合物，式1中，R0各自独立地为包含氧原子的1价基团、包含硫原子的1价基团、包含氮原子的1价基团、烃基或卤原子，p各自独立地为0～4的整数。
百度查询： 三菱瓦斯化学株式会社 抗蚀材料、抗蚀组合物和抗蚀图案形成方法
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