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申请/专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日：2022-07-13
公开（公告）日：2022-10-25
公开（公告）号：CN115233161A
专利技术分类：..真空蒸发[2006.01]
专利摘要：本发明涉及一种蒸镀设备、蒸镀系统以及蒸镀方法，蒸镀设备包括：基体，具有蒸镀腔，蒸镀腔包括沿第一方向相继分布的第一蒸镀区以及第二蒸镀区；引导部件，位于第一蒸镀区以及第二蒸镀区；蒸发源组件，设置于引导部件，蒸发源组件包括第一蒸发源以及第二蒸发源，第一蒸发源以及第二蒸发源分别与引导部件可移动连接，第一蒸发源以及第二蒸发源均能够于第一蒸镀区以及第二蒸镀区往复移动，且第一蒸发源以及第二蒸发源均能够沿第二方向相对于引导部件往复移动，第二方向与第一方向相交。本发明实施例能够满足器件的蒸镀需求，同时其所应用的蒸镀系统造价低，占用空间小，产能利用率高。
专利权项：1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：基体，具有蒸镀腔，所述蒸镀腔包括沿第一方向相继分布的第一蒸镀区以及第二蒸镀区；引导部件，位于所述第一蒸镀区以及第二蒸镀区；蒸发源组件，设置于引导部件，所述蒸发源组件包括第一蒸发源以及第二蒸发源，所述第一蒸发源以及所述第二蒸发源分别与所述引导部件可移动连接，所述第一蒸发源以及所述第二蒸发源均能够于第一蒸镀区以及所述第二蒸镀区往复移动，且所述第一蒸发源以及所述第二蒸发源均能够沿第二方向相对于所述引导部件往复移动，所述第二方向与所述第一方向相交。
百度查询： 昆山国显光电有限公司 蒸镀设备、蒸镀系统以及蒸镀方法
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