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申请/专利权人：广东聚华印刷显示技术有限公司
申请日：2021-08-26
公开（公告）日：2023-12-22
公开（公告）号：CN115369361B
专利技术分类：...电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法[2006.01]
专利摘要：本发明涉及一种蒸镀坩埚，包括：坩埚本体，所述坩埚本体具有盛装蒸镀材料的容纳空间，所述坩埚本体的顶部设置有与所述容纳空间连通的开口；第一分布器，所述第一分布器盖合所述开口，所述第一分布器上间隔设置有多个与所述容纳空间分别连通的第一气孔；第一加热装置，所述第一加热装置设置在所述第一分部器上并用于对设置有所述第一气孔的区域进行加热；以及稳压管，所述稳压管伸入至所述容纳空间内并用于向所述容纳空间通入稳压气体。本发明有利于提高蒸镀均匀性，还能提高蒸镀效率，如果在蒸镀过程中发生堵孔现象，可通过加热装置对分布器的气孔位置处进行加热，将造成堵孔的蒸镀材料蒸发掉，解决堵孔问题。
专利权项：1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体，所述坩埚本体具有盛装蒸镀材料的容纳空间，所述坩埚本体的顶部设置有与所述容纳空间连通的开口；第一分布器，所述第一分布器盖合所述开口，所述第一分布器上间隔设置有多个与所述容纳空间分别连通的第一气孔；第一加热装置，所述第一加热装置设置在所述第一分部器上并用于对设置有所述第一气孔的区域进行加热；稳压管，所述稳压管伸入至所述容纳空间内并用于向所述容纳空间通入稳压气体；第二分布器，所述第二分布器设置于所述容纳空间中，且位于所述稳压管与所述第一分布器之间，所述第二分布器与所述第一分布器通过连接杆连接，所述第二分部器与所述坩埚本体的底面之间的空间用于盛装蒸镀材料；其中，所述第二分布器上具有第三加热装置以及多个间隔设置的第三气孔，所述第三加热装置用于对设置有所述第三气孔的区域进行加热；所述坩埚本体具有依次相连的主体部、颈部和开口部，所述颈部的径向尺寸分别小于所述主体部和所述开口部的径向尺寸，所述颈部位于所述第一分布器与所述第二分布器之间，所述第二分布器位于所述坩埚本体的所述颈部的下方且靠近所述颈部的位置。
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