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申请/专利权人：西实显示高新材料(沈阳)有限公司
申请日：2022-09-29
公开（公告）日：2023-11-17
公开（公告）号：CN115491662B
专利技术分类：..借助放电的[2006.01]
专利摘要：本发明涉及一种ICP设备。ICP设备包括具有工件位与电感位的腔体以及排气筏板，排气筏板活动设置于腔体内，排气筏板内部设置供气通道，供气通道具有多个出气口；排气筏板可相对腔体平移，以改变排气筏板的各出气口与工件位、电感位之间的距离；排气筏板可沿其长度方向转动，以改变排气筏板的各出气口与工件位、电感位之间的角度。排气筏板在相对腔体平移或转动后，可以调整工艺气体与工件位或电感位之间的距离及角度，从而调整工件位处或电感位处的工艺气体分布，以及对应的工艺气体流速、流量等因素，进而调整工件位处或电感位处的等离子体的分布以及能量，以改变薄膜沉积与表面刻蚀的占比，提高膜层质量。
专利权项：1.一种ICP设备，其特征在于，包括：腔体，具有工件位与电感位；排气筏板，活动设置于腔体内，所述排气筏板内部设置供气通道，所述供气通道具有多个出气口；所述排气筏板可相对腔体平移，以改变所述排气筏板的各所述出气口与所述工件位、所述电感位之间的距离；所述排气筏板可沿其长度方向转动，以改变所述排气筏板的各所述出气口与所述工件位、所述电感位之间的角度；及调节管，一端与所述腔体连接，另一端与所述排气筏板连接，所述调节管可相对所述腔体弯折；其中，所述排气筏板包括两个可拆卸设置的板体，两个所述板体均设置有供气槽，当两个所述板体连接时，两个所述板体上的两个所述供气槽对齐以形成所述供气通道；所述供气通道包括多级分气路，任一所述分气路均具有一个进入端与两个排出端，所述分气路的两个所述排出端与所述进入端之间的距离相等；第一级所述分气路的所述进入端与供气源连接，最后一级所述分气路的所述排出端与对应的所述出气口连通，相邻级的两个所述分气路中，前一级所述分气路的所述排出端与后一级所述分气路的所述进入端连通；所述ICP设备还包括连接板，所述连接板设置于所述腔体，所述连接板设置有轨道槽，所述排气筏板具有连接部，所述连接部的至少部分容置于所述轨道槽内，且所述连接部可相对所述轨道槽移动。
百度查询： 西实显示高新材料(沈阳)有限公司 ICP设备
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