龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：广东华升纳米科技股份有限公司
摘要：本申请涉及一种TiCN涂层及其制备方法。TiCN涂层的制备方法包括在基体上沉积过渡层；在含氩气和氮气的气氛下，对磁控Ti靶和磁控TiC靶进行高能脉冲磁控溅射镀膜，以在过渡层上沉积TixCyNz功能层；对磁控Ti靶和磁控TiC靶进行高能脉冲磁控溅射镀膜包括：同步开启磁控Ti靶和磁控TiC靶，调节磁控Ti靶的功率为第一预设功率，调节磁控TiC靶的功率为第二预设功率；其中，x+y+z=1，0.45≤x≤0.55，0.45≤y+z≤0.55。上述TiCN涂层的制备方法，能够通过分别调节第一预设功率与第二预设功率的大小，而调节TixCyNz功能层中各元素的成分，进而调节TixCyNz功能层的硬度和摩擦系数等性能，相比于制定不同成分的TiC靶材，制程更加简单，因此使TixCyNz功能层的硬度或摩擦系数更易调节。
主权项：1.一种TiCN涂层的制备方法，其特征在于，包括：在基体上沉积过渡层；在含氩气和氮气的气氛下，对磁控Ti靶和磁控TiC靶进行高能脉冲磁控溅射镀膜，以在所述过渡层上沉积TixCyNz功能层；所述对磁控Ti靶和磁控TiC靶进行高能脉冲磁控溅射镀膜包括：同步开启所述磁控Ti靶和所述磁控TiC靶，调节所述磁控Ti靶的功率为第一预设功率，调节所述磁控TiC靶的功率为第二预设功率；其中，x+y+z=1，0.45≤x≤0.55，0.45≤y+z≤0.55。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东华升纳米科技股份有限公司 TiCN涂层及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号