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摘要：本申请实施例的目的是提供一种集成式BAW滤波器和制造集成式BAW滤波器的方法。本申请实施例的集成式BAW滤波器包括衬底和集成在所述衬底上的多个BAW滤波器；其中，每个BAW滤波器分别包括压电层、上电极层和下电极层，所述上电极层被设置于所述压电层的上方，所述下电极层被设置于所述压电层的下方。本申请实施例具有以下优点：实现了将多个BAW滤波器集成在一个芯片上，从而能够一次完成对多个BAW滤波器产品的流片测试，提升了效率，节省了成本，缩短了滤波器产品的开发周期，并且提升了滤波器器件的稳定性。
主权项：1.一种集成式BAW滤波器，其特征在于，所述集成式BAW滤波器包括衬底和集成在所述衬底上的多个BAW滤波器；其中，每个BAW滤波器分别包括压电层、上电极层和下电极层，所述上电极层被设置于所述压电层的上方，所述下电极层被设置于所述压电层的下方。
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百度查询： 深圳新声半导体有限公司 一种集成式BAW滤波器和制造集成式BAW滤波器的方法
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