Document
拖动滑块完成拼图
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

一种带保护的晶圆子母环取料装置 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:深圳市华拓半导体技术有限公司

摘要:本申请涉及晶圆子母环取料的技术领域,公开了一种带保护的晶圆子母环取料装置,包括工作平台,所述工作平台上设置有导向组件,所述导向组件上设置有滑动组件,所述滑动组件上设置有用于卡紧晶圆子母环的取料组件,所述滑动组件上位于所述取料组件的一侧连接有保护模组,所述保护模组用于检测取料组件在卡紧晶圆子母环后进行移动中是否出现压力过载并及时发出信号;一种带保护的晶圆子母环取料装置利用取料组件中的上下压板对子母环接触,利用弹片上凸台卡住子母环,防止子母环掉落,再通过设置保护模组能够对取料组件移动方向上提供力度过载检测,避免取料移动方向上或完成取料移动方向上出现力度过载,导致子母环晶圆或装置的损坏。

主权项:1.一种带保护的晶圆子母环取料装置,其特征在于,包括工作平台,所述工作平台上设置有导向组件,所述导向组件上设置有滑动组件,所述滑动组件上设置有用于卡紧晶圆子母环的取料组件,所述滑动组件上位于所述取料组件的一侧连接有保护模组,所述保护模组用于检测取料组件在卡紧晶圆子母环后进行移动中是否出现压力过载,并在出现压力过载时及时发出信号。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳市华拓半导体技术有限公司 一种带保护的晶圆子母环取料装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。