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申请/专利权人：迈为技术(珠海)有限公司
摘要：本申请公开了一种旋转DOE装置及晶圆加工隐切设备，属于半导体领域。一种旋转DOE装置包括一DOE安装盘、若干镜片安装组件、若干镜片、一弹簧挡板、若干压缩弹簧、若干调节组件和一伺服电机；弹簧挡板和镜片安装组件均设置在DOE安装盘上，弹簧挡板设置在正中，镜片安装组件均匀分设在弹簧挡板的外周，并通过压缩弹簧与弹簧挡板弹性连接；镜片设置在镜片安装组件内；调节组件设置在镜片安装组件外侧，并与镜片位置可调性连接；伺服电机与DOE安装盘连接并能够带动DOE安装盘旋转，实现不同镜片的切换。本申请可以在不同镜片之间自动高精度切换，满足晶圆切割工序时需要频繁在一些DOE光学元件中来回切换的需求。
主权项：1.一种旋转DOE装置，用于晶圆加工隐切设备，其特征在于，所述旋转DOE装置包括：一DOE安装盘、若干镜片安装组件、若干镜片、一弹簧挡板、若干压缩弹簧、若干调节组件和一伺服电机；所述弹簧挡板和所述镜片安装组件均设置在所述DOE安装盘上，所述弹簧挡板设置在所述DOE安装盘的正中，所述镜片安装组件均匀分设在所述弹簧挡板的外周，并通过所述压缩弹簧与所述弹簧挡板弹性连接；所述镜片安装组件、所述镜片和所述调节组件一一对应设置；所述镜片设置在所述镜片安装组件内；所述调节组件设置在所述镜片安装组件外侧，并与所述镜片位置可调性连接；所述伺服电机与所述DOE安装盘连接，并能够带动所述DOE安装盘旋转，实现不同镜片的切换。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 迈为技术(珠海)有限公司 一种旋转DOE装置及晶圆加工隐切设备
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