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申请/专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
摘要：本发明提供了一种加热盘、一种薄膜沉积设备及一种薄膜沉积设备的组装方法。所述加热盘包括：基板，用于承载并加热待加工的晶圆，以在其背面沉积薄膜；以及基座，设于所述基板的下方以支撑所述基板，其中，所述基座上设有牵拉件，所述牵拉件的上端固定连接所述基板的中心区域的下端，在加热的过程中向所述基板提供向下的拉力，以抑制所述基板的中心区域的热膨胀形变。通过在加热盘的基座设置固定连接基板的牵拉件，利用其向基板提供向下的拉力，本发明可以有效抑制基板的热膨胀形变，从而提升晶圆背面的成膜质量。
主权项：1.一种加热盘，其特征在于，包括：基板，用于承载并加热待加工的晶圆，以在其背面沉积薄膜；以及基座，设于所述基板的下方以支撑所述基板，其中，所述基座上设有牵拉件，所述牵拉件的上端固定连接所述基板的中心区域的下端，在加热的过程中向所述基板提供向下的拉力，以抑制所述基板的中心区域的热膨胀形变。
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权利要求：
百度查询： 拓荆科技(上海)有限公司 加热盘、薄膜沉积设备及薄膜沉积设备组装方法
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