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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于半导体领域，公开了一种氧化铟锌掺杂稀土金属靶材的制备方法，包括如下步骤：步骤1：将氧化锌粉体和稀有金属氧化物粉末混合、湿法研磨；步骤2：将化铟粉体加入到步骤1的混合物中混合、湿法研磨，然后加入粘结剂混合、研磨；步骤3：将步骤2的产物造粒、成型、冷等静压、烧结；所述氧化铟粉体、氧化锌粉体和稀有金属氧化物粉末的重量比为77.5～93.2:6.7～22.3:0.1～0.2；所述氧化铟粉体的平均粒径为0.1‑3μm，所述氧化锌粉体的平均粒径为0.5‑4μm，所述稀有金属氧化物粉末的平均粒径为0.5‑4μm。该金属靶材采用多次研磨并严格控制氧化锌、氧化铟、稀有金属氧化物的比例和粒径，实现了超高的电导率，同时保证了密度合格。
主权项：1.一种氧化铟锌掺杂稀土金属靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将氧化锌粉体和稀有金属氧化物粉末混合、湿法研磨；步骤2：将氧化铟粉体加入到步骤1的混合物中混合、湿法研磨，然后加入粘结剂混合、研磨；步骤3：将步骤2的产物造粒、成型、冷等静压、烧结；所述氧化铟粉体的平均粒径为0.5-0.7μm，所述氧化锌粉体的平均粒径为2-3μm，所述稀有金属氧化物粉末的平均粒径为2-3μm；所述氧化铟粉体、氧化锌粉体和稀有金属氧化物粉末的重量比为85~93:6.9~14.8:0.1~0.2；所述稀有金属氧化物为氧化铈、氧化钛、氧化钽、氧化镓、氧化锗之一；靶材的电导率不低于1100scm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种氧化铟锌掺杂稀土金属靶材及其制备方法
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