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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：提供清洗力较高的基板清洗装置和基板清洗方法。提供基板清洗装置，具备：基板旋转机构，该基板旋转机构使基板旋转；以及第一喷嘴和第二喷嘴，该第一喷嘴和第二喷嘴朝向旋转的所述基板的规定面喷射超声波清洗液，所述第一喷嘴与所述第二喷嘴保持于一个壳体。
主权项：1.一种基板清洗装置，其特征在于，具备：基板旋转机构，该基板旋转机构使基板旋转；以及第一喷嘴和第二喷嘴，该第一喷嘴和第二喷嘴朝向旋转的所述基板喷射超声波清洗液，所述第一喷嘴与所述第二喷嘴均以能够调整相对于基板的分离距离的方式保持于位于所述基板的侧方的一个壳体，所述第一喷嘴与所述第二喷嘴均能够通过使所述壳体在水平面内旋转来调整喷射角度，以所述第一喷嘴和或所述第二喷嘴向旋转的所述基板的斜面沿所述基板的切线方向喷射超声波清洗液的方式在所述基板的侧方支承所述壳体，所述斜面是相对于比边缘靠外侧的基板表面具有角度的曲面部或者倒角部、以及侧面部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 基板清洗装置和基板处理装置
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