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申请/专利权人：星钥(珠海)半导体有限公司
摘要：本申请涉及半导体领域，公开了一种待研磨元件的保护组件和研磨装置，包括：固定部件，用于设置在用于承载待研磨元件的承载台上；与所述固定部件连接的保护片，所述保护片的一端固定在所述固定部件上，所述保护片的另一端延伸至所述待研磨元件的研磨面的边缘区域。本申请的保护组件包括保护片，保护片的一端延伸至待研磨元件研磨面的边缘区域上，当对待研磨元件进行研磨时，保护片将研磨面的边缘区域与研磨垫隔开，可以避免研磨垫对边缘区域进行摩擦，进而避免待研磨元件边缘区域的裂痕发生开裂，从而避免对开裂产生的颗粒对待研磨元件的研磨面造成损伤，同时避免对研磨垫造成污染。另外，本申请中通过固定部件固定保护片，便于对保护片进行拆装。
主权项：1.一种待研磨元件的保护组件，其特征在于，包括：固定部件，用于设置在用于承载待研磨元件的承载台上；与所述固定部件连接的保护片，所述保护片的一端固定在所述固定部件上，所述保护片的另一端延伸至所述待研磨元件的研磨面的边缘区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 星钥(珠海)半导体有限公司 一种待研磨元件的保护组件和研磨装置
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