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一种直接覆铝陶瓷基板蚀刻治具 

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申请/专利权人:江苏富乐华半导体科技股份有限公司

摘要:本实用新型提供一种直接覆铝陶瓷基板蚀刻治具,包括固定板,所述固定板底部为平面,所述固定板顶部加工有两个对称布置的第一斜面,两个所述第一斜面上均开设有多个用于存放直接覆铝陶瓷基板的矩形通孔槽,所述矩形通孔槽内四个顶角处均安装有可调整高度的用于支撑直接覆铝陶瓷基板的放置台,所述放置台顶部加工有第二斜面,所述第二斜面与第一斜面相互对应平行,本实用新型具有如下的有益效果:避免了药液的局部区域性堆积,显著的提高了直接覆铝陶瓷基板的蚀刻精度,消除了边部锯齿。

主权项:1.一种直接覆铝陶瓷基板蚀刻治具,包括固定板1,其特征在于:所述固定板1底部为平面,所述固定板1顶部加工有两个对称布置的第一斜面2,两个所述第一斜面2上均开设有多个用于存放直接覆铝陶瓷基板的矩形通孔槽3,所述矩形通孔槽3内四个顶角处均安装有可调整高度的用于支撑直接覆铝陶瓷基板的放置台4,所述放置台4顶部加工有第二斜面5,所述第二斜面5与第一斜面2相互对应平行。

全文数据:

权利要求:

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