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稀土钡铜氧化物超导靶材及其制备方法 

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申请/专利权人:苏州益倍通新材料有限公司

摘要:本发明实施例公开了稀土钡铜氧化物超导靶材及其制备方法;制备方法包括步骤:S1、稀土氧化物粉体、氧化钡粉体、氧化铜粉体按照设定比例混合,得到第一混合粉体;S2、煅烧第一混合粉体,得到第二混合粉体;S3、第二混合粉体与粘结剂球磨混合,模压成型,得到靶材素坯;S4、将靶材素坯脱脂烧结一体化处理,热压得到稀土钡铜氧化物超导靶材。稀土钡铜氧化物超导靶材中,稀土钡铜氧化物ReBa2Cu3O7为唯一超导相,二次相CuO均匀分散在主相之间,组织均匀,稀土钡铜氧化物超导靶材的致密度高达99.6%,在稀土钡铜氧化物溅射靶材及其制备领域有广泛应用前景。

主权项:1.稀土钡铜氧化物超导靶材的制备方法,其特征在于,包括步骤:S1、稀土氧化物粉体、氧化钡粉体、氧化铜粉体按照设定比例混合,得到第一混合粉体;S2、煅烧第一混合粉体,得到第二混合粉体;S3、第二混合粉体与粘结剂球磨混合,模压成型,得到靶材素坯;S4、将靶材素坯脱脂烧结一体化处理,热压得到稀土钡铜氧化物超导靶材。

全文数据:

权利要求:

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