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申请/专利权人：南京大学
摘要：本发明公开了一种高折射率高深宽比倾斜光栅制备方法，包括基底、有机掺杂高折胶层和UV固化压印胶层，所述有机掺杂高折胶层包括主体组分和掺杂组分，所述主体组分为烷氧基十二烷基丙稀酸脂、2‑苯氧基乙基丙烯酸酯混合物中的任一种及其组合，掺杂组分为含有硫元素的材料，包括如下步骤：S1：在基底表面依次旋涂两层胶体，由下往上分别为有机掺杂高折胶以及UV固化压印胶，形成有机掺杂高折胶层和UV固化压印胶层；S2：在UV固化压印胶层上制作直角光栅，同时形成残余层；S3：通过刻蚀工艺对UV固化压印胶层的残余层进行处理；S4：倾斜基底，以UV固化压印胶层上的直角光栅为掩膜对有机掺杂高折胶层进行刻蚀，获得高折射率高深宽比倾斜光栅。
主权项：1.一种高折射率高深宽比倾斜光栅制备方法，其特征在于：包括基底、有机掺杂高折胶层和UV固化压印胶层，所述有机掺杂高折胶层包括主体组分和掺杂组分，所述主体组分为烷氧基十二烷基丙稀酸脂、2-苯氧基乙基丙烯酸酯混合物中的任一种及其组合，掺杂组分为含有硫元素的材料，包括如下步骤：S1：在基底表面依次旋涂两层胶体，由下往上分别为有机掺杂高折胶以及UV固化压印胶，形成有机掺杂高折胶层和UV固化压印胶层；S2：在UV固化压印胶层上制作直角光栅，同时形成残余层；S3：通过刻蚀工艺对UV固化压印胶层的残余层进行处理；S4：倾斜基底，以UV固化压印胶层上的直角光栅为掩膜对有机掺杂高折胶层进行刻蚀，获得高折射率高深宽比倾斜光栅。
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百度查询： 南京大学 一种高折射率高深宽比倾斜光栅制备方法
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