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申请/专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
摘要：本发明公开了一种热敏型线列太赫兹探测器及其制备方法，所述太赫兹探测器从下至上依次包括铜硅底座、宝石衬底、锰钴镍氧热敏元、环氧胶和聚合物衍生陶瓷Polymerderivedceramic，PDC吸收膜。本发明结合PDC吸收膜和锰钴镍氧热敏元，实现了器件对0.1‑10THz的宽波段近完美吸收90％以上。通过硅材料湿法方法实现下凹型硅金字塔阵列，以其为模版制作聚合物金字塔阵列，通过热解方法制备得到PDC吸收膜，可贡献0.1～10THz的高吸收。本发明结合可有效解决原有锰钴镍氧热敏探测敏感元光吸收弱的问题，实现宽波段太赫兹探测。
主权项：1.一种热敏型线列太赫兹探测器，其特征在于，所述探测器包括宝石衬底，微桥结构，硅金字塔阵列，补偿元，电学引线，其中，铜底座1上制备有硅底座2，硅底座上粘贴有宝石衬底3，上方制备有锰钴镍氧探测元4，PDC金字塔阵列吸收膜5，锰钴镍氧补偿元6上方覆盖有硅橡胶7，金电极层8，钛金属粘附层9，微桥结构10，引线11。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海技术物理研究所 一种热敏型线列太赫兹探测器及其制备方法
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