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申请/专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要：本发明提供一种串联纳米线探测器及其制作方法，串联纳米线探测器包括衬底及形成于其上的探测结构，探测结构包括M个纳米线、2M个连接线及M个电阻，M个纳米线串联，M个电阻通过2M个连接线分别并联于M个纳米线的两端，M为大于或等于2的自然数；其中，纳米线及连接线采用同一超导叠层制作，超导叠层由下至上依次包括第一超导层、介质层及第二超导层。通过本发明提供的串联纳米线探测器及其制作方法，解决了现有技术中没有能够保证极限效率的多光子分辨方案的问题。
主权项：1.一种串联纳米线探测器，其特征在于，所述串联纳米线探测器包括：衬底及形成于其上的探测结构，所述探测结构包括M个纳米线、2M个连接线及M个电阻，M个所述纳米线串联，M个所述电阻通过2M个所述连接线分别并联于M个所述纳米线的两端，M为大于或等于2的自然数；其中，所述纳米线及所述连接线采用同一超导叠层制作，所述超导叠层由下至上依次包括第一超导层、介质层及第二超导层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 串联纳米线探测器及其制作方法
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