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申请/专利权人：苏州伯宇光电科技有限公司
摘要：本公开提供了一种电致变色器件的制备方法，其中，方法包括：提供第一基板；在第一基板上依次形成辅助层和第一导电层，并形成第一沟槽，第一沟槽至少贯穿第一导电层；在第一导电层上依次形成电致变色层和第二导电层及绝缘层，并形成第二沟槽，第二沟槽至少贯穿绝缘层、第二导电层及电致变色层；形成第三沟槽，第三沟槽贯穿绝缘层；其中，辅助层、第一导电层、电致变色层、第二导电层和绝缘层的形成过程均在反应腔内完成。本公开中，通过在第二导电层上形成绝缘层，不仅可以起到隔绝水汽防止氧化的作用，而且后续进行密封时，对密封胶的要求也大大降低，降低了工艺难度，减少了工艺成本。
主权项：1.一种电致变色器件的制备方法，其特征在于，所述方法包括：提供第一基板；在所述第一基板上依次形成辅助层和第一导电层，并形成第一沟槽，所述第一沟槽至少贯穿所述第一导电层；在所述第一导电层上依次形成电致变色层和第二导电层及绝缘层，并形成第二沟槽，所述第二沟槽至少贯穿所述绝缘层、所述第二导电层及所述电致变色层；形成第三沟槽，所述第三沟槽贯穿所述绝缘层；其中，所述辅助层、所述第一导电层、所述电致变色层、所述第二导电层和所述绝缘层的形成过程均在反应腔内完成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州伯宇光电科技有限公司 一种电致变色器件的制备方法
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