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申请/专利权人：上海现代先进超精密制造中心有限公司

摘要：本发明公开了一种实现绝对面形检测的菲索干涉仪，涉及光学技术领域，包含多路能够独立实现干涉测量的独立干涉测量光路，每一路独立干涉测量光路包括沿着第一光路方向依次排布的激光器光源、折转镜、光源汇聚镜组、照明光阑、分光棱镜组、准直镜组、参考镜组和待测光学面；多路独立干涉测量光路中的分光棱镜组、准直镜组、参考镜组和待测光学面为共用部件；每一路独立干涉测量光路还包括沿第二光路方向依次排布的成像光阑、成像镜组和ccd探测器；且每一路独立干涉测量光路中的成像光阑、成像镜组和ccd探测器为每一路独立干涉测量光路的独立部件；通过干涉仪内部光路，获得干涉相位的平移梯度，基于梯度还原算法实现绝对面形检测。

主权项：1.一种实现绝对面面形检测的菲索干涉仪，其特征在于：包含多路能够独立实现干涉测量的独立干涉测量光路；每一路独立干涉测量光路包括沿着第一光路方向依次排布的激光器光源、折转镜、光源汇聚镜组、照明光阑、分光棱镜组、准直镜组、参考镜组和待测光学面；且每一路独立干涉测量光路中的激光器光源、折转镜、光源汇聚镜组和照明光阑为每一路独立干涉测量光路的独立部件，多路独立干涉测量光路中的分光棱镜组、准直镜组、参考镜组和待测光学面为多路独立干涉测量光路的共用部件；每一路独立干涉测量光路还包括沿第二光路方向依次排布的成像光阑、成像镜组和ccd探测器；且每一路独立干涉测量光路中的成像光阑、成像镜组和ccd探测器为每一路独立干涉测量光路的独立部件；所述独立干涉测量光路为具备完全测量功能的菲索型干涉测量光路，且彼此以特定的方式进行空间排布，使得：独立的激光器光源发出平行光，经过独立的折转镜调整方位，入射独立的光源汇聚镜组，在照明光阑所处平面内生成一个独立点光源，独立点光源经过共用的分光棱镜组，共用的准直镜组和共用的参考镜组后，部分光经过参考镜组的参考面反射返回，即参考光；部分光透过参考镜组的参考面后再经过待测光学面反射返回，即测量光；参考光和测量光会再次经过共用的准直镜组和共用的分光棱镜组后，汇聚在成像光阑面，再经过成像镜组后，在ccd探测器的焦面发生干涉，并最终解析出参考光和测量光的相位差，即测得待测光学面的面形。

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