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申请/专利权人：上海大学
摘要：本发明提供一种放电等离子型极紫外光源功率的测量装置及测量方法，所述装置包括：滤光片，用于对DPP型光源出光进行带外滤光，形成滤光后的光束，其位于第一真空腔体与第二真空腔体之间；反射镜，位于第二真空腔体内，用于对滤光后的光束进行带内滤光，形成带内极紫外光束；极紫外光电二极管，用于将带内极紫外光束的光信号转变为电流信号；计算模块，用于根据电流信号和极紫外光电二极管的电流‑功率响应曲线，得到特定立体角下DPP型光源的带内极紫外光功率；并根据特定立体角下DPP型光源的极紫外光功率，得到DPP型光源的极紫外光功率。本发明的装置结构简单，易于搭建实验平台，能够准确、快速地测得DPP型光源的极紫外光功率。
主权项：1.一种放电等离子型极紫外光源功率的测量装置，其特征在于，包括：滤光片，所述滤光片用于对DPP型光源出光进行带外滤光，形成滤光后的光束；所述滤光片位于第一真空腔体与第二真空腔体之间，所述第一真空腔体包括光源真空腔体，所述第二真空腔体与所述第一真空腔体相连通；反射镜，位于所述第二真空腔体内，所述反射镜用于对滤光后的光束进行带内滤光，形成带内极紫外光束；极紫外光电二极管，位于所述第二真空腔体内，所述带内极紫外光束反射后到达所述极紫外光电二极管的探测平面处，所述极紫外光电二极管用于将所述带内极紫外光束的光信号转变为电流信号；计算模块，用于根据所述电流信号和极紫外光电二极管的电流-功率响应曲线，得到特定立体角下DPP型光源的带内极紫外光功率；并根据特定立体角下DPP型光源的极紫外光功率，得到DPP型光源的极紫外光功率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海大学 放电等离子型极紫外光源功率的测量装置及测量方法
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