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申请/专利权人：合肥致真精密设备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于超高真空中晶圆自动校准装置，包括超高真空连接法兰以及安装于超高真空连接法兰下方的磁流体转轴，所述磁流体转轴的上端安装有与其一并转动的小齿轮，超高真空连接法兰的上端面安装有安装座，所述安装座不相邻的两侧均设有滑块，且安装座不相邻的两个侧壁均安装限制滑块运动的导向部，两个滑块的表面均安装与小齿轮啮合的齿条，两个滑块的端部均安装有对晶圆进行限位的夹紧块。本实用新型结构简单，确保了校准装置在超高真空环境下的可靠性，又通过智能调整实现了对不同尺寸晶圆的灵活适应，提升了整体校准效率。
主权项：1.一种用于超高真空中晶圆自动校准装置，包括超高真空连接法兰以及安装于超高真空连接法兰下方的磁流体转轴，其特征在于，所述磁流体转轴的上端安装有与其一并转动的小齿轮，超高真空连接法兰的上端面安装有安装座，所述安装座不相邻的两侧均设有滑块，且安装座不相邻的两个侧壁均安装限制滑块运动的导向部，两个滑块的表面均安装与小齿轮啮合的齿条，两个滑块的端部均安装有对晶圆进行限位的夹紧块。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥致真精密设备有限公司 一种用于超高真空中晶圆自动校准装置
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