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申请/专利权人：无锡紫电半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种高压低漏电晶圆测试探针卡，涉及到半导体设备技术领域，包括：载盘以及多个PCB信号通道模块，所述载盘包括用于安装芯片测试探针的中心盘以及多个围绕中心盘均匀设置的安装位，多个所述PCB信号通道模块分别设置于多个安装位中，相邻两个所述PCB信号通道模块之间均留设有空隙；本实用新型通过将整张PCB分成多个PCB信号通道模块，并在相邻两个所述PCB信号通道模块之间均留设有空隙，使达到信号点与信号点之间的隔离，使两个相邻信号之间的漏电流达到0.1PA或以下，以达到降低漏电值的要求，且避免了整片PCB在生产时，若出现漏电值无法满足要求，那么整个PCB都会报废的问题，进一步降低了生产成本。
主权项：1.一种高压低漏电晶圆测试探针卡，其特征在于，包括：载盘以及多个PCB信号通道模块1，所述载盘包括用于安装芯片测试探针的中心盘2以及多个围绕中心盘2均匀设置的安装位3，多个所述PCB信号通道模块1分别设置于多个安装位3中，相邻两个所述PCB信号通道模块1之间均留设有空隙。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡紫电半导体有限公司 一种高压低漏电晶圆测试探针卡
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