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一种用于多晶高温合金晶粒三维表征的方法 

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申请/专利权人:钢研纳克检测技术股份有限公司

摘要:本发明涉及金属材料分析表征技术领域,公开了一种用于多晶高温合金晶粒三维表征的方法,包括:在多晶高温合金样品表面的重构区域设置定位标记点,在多晶高温合金样品表面辉光溅射,进行辉光溅射样品表面制备;对辉光溅射样品表面进行样品表面溅射深度测量以及重构区域显微图像采集,之后,进行辉光溅射逐层制备,获得多层的多晶高温合金晶粒的二维显微组织图像;将多层的二维显微组织图像导入三维重构软件中,得到多晶高温合金晶粒的三维重构结构,进行三维定量统计表征。本发明基于辉光溅射逐层制备进行三维重构,实现多晶高温合金材料中晶粒的三维定量统计表征,具有定量统计表征参量更加丰富,表征范围大、速度快的优点。

主权项:1.一种用于多晶高温合金晶粒三维表征的方法,其特征在于,包括以下步骤:S1,在多晶高温合金样品表面的重构区域的周边设置定位标记点,用于重构区域显微图像采集时的定位;S2,在设定工作条件下,在多晶高温合金样品表面辉光溅射,进行辉光溅射样品表面制备;S3,对辉光溅射样品表面进行样品表面溅射深度测量以及重构区域显微图像采集,之后,重复步骤S2-S3进行辉光溅射逐层制备,直到制备得到所需要的辉光溅射样品表面层数,获得多层的多晶高温合金晶粒的二维显微组织图像;S4,将多层的多晶高温合金中晶粒的二维显微组织图像导入三维重构软件中,进行图像配准和插值处理,得到多晶高温合金晶粒的三维重构结构;S5,基于所述三维重构结构进行多晶高温合金晶粒的三维定量统计表征。

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