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申请/专利权人:南京理工大学
摘要:本发明公开了一种基于连续‑纳秒组合激光的高效损伤系统及方法,系统包括延时信号控制系统、激光损伤系统、光斑调节系统和实时监测系统;方法包括以下步骤:搭建连续‑纳秒组合激光的高效损伤系统;进行连续‑纳秒组合激光对CCD样品的高效损伤。本发明降低了激光对CCD的损伤阈值,提高了损伤效率,降低了成本。
主权项:1.一种基于连续-纳秒组合激光的高效损伤系统,其特征在于,包括延时信号控制系统、激光损伤系统、光斑调节系统和实时监测系统,所述延时信号控制系统用于控制连续激光器与纳秒脉冲激光器的发射延时;所述激光损伤系统包括连续激光器、纳秒脉冲激光器、合束镜、CCD样品、三维调节载物台和计算机,用于组合连续激光与纳秒激光,对CCD样品进行高效损伤;所述光斑调节系统包括光斑比例调节镜和光斑尺寸调节镜,用于自由调节CCD样品表面连续激光和纳秒激光的尺寸;所述实时监测系统包括第一分光镜、第二分光镜、功率计和能量计,用于实时监测连续激光功率和纳秒激光能量。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 南京理工大学 一种基于连续-纳秒组合激光的高效损伤系统及方法
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