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存储结构、存储器及存储结构的制备方法 

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申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司

摘要:本公开提供一种存储结构、存储器及存储结构的制备方法,存储结构包括衬底、存储晶体管和存储单元,衬底中设置有凸起结构,凸起结构沿远离衬底的方向延伸;存储晶体管包括有源层,至少部分有源层位于凸起结构的顶部以及侧壁;有源层的顶部连接存储单元的第一电极,有源层的底部至少部分连接于信号线。由于有源层并非均位于同一平面上,而是部分有源层沿衬底的厚度方向延伸,可充分利用衬底厚度方向上的空间,从而可以缩小有源层的平面尺寸,以缩小存储晶体管的平面尺寸。因此,本公开提供的存储结构、存储器及存储结构的制备方法,能够缩小存储晶体管的平面尺寸,从而提高存储结构和存储器中的存储晶体管的密度,提高存储结构和存储晶器的性能。

主权项:1.一种存储结构,其特征在于,包括衬底、存储晶体管和存储单元,所述衬底中设置有凸起结构,所述凸起结构沿远离所述衬底的方向延伸;所述存储晶体管包括有源层,至少部分所述有源层位于所述凸起结构的顶部以及侧壁;所述有源层的顶部连接所述存储单元的第一电极,所述有源层的底部至少部分连接于信号线。

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