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申请/专利权人：博鲁可斯自动化美国有限责任公司
摘要：一种衬底处理系统，包括:在衬底处理系统内形成衬底输送空间的框架；可操作地耦合到框架的衬底输送装置，其具有可移动臂和驱动部分，该驱动部分被配置为移动可移动臂并通过输送空间将保持在臂的末端执行器上的衬底从衬底处理系统的第一位置输送到衬底处理系统的不同于第一位置的第二位置；以及控制器，其可操作地耦合到可移动臂和驱动部分，以便实现可移动臂到不同系统位置的移动，该控制器可通信地耦合到至少一个臂运动传感器和至少一个系统计量传感器，并且该至少一个系统计量传感器感测不同于臂运动预定特性的系统计量预定特性。
主权项：1.一种衬底处理系统，包括:在所述衬底处理系统内形成衬底输送空间的框架；可操作地耦合到所述框架的衬底输送装置，其具有可移动臂和驱动部分，所述驱动部分被配置为移动所述可移动臂并通过所述输送空间将保持在所述臂的末端执行器上的衬底从所述衬底处理系统的第一位置输送到所述衬底处理系统的不同于所述第一位置的第二位置；以及控制器，其可操作地耦合到所述可移动臂和驱动部分，以便实现所述可移动臂到不同系统位置的移动，所述控制器可通信地耦合到至少一个臂运动传感器和至少一个系统计量传感器，所述至少一个臂运动传感器感测臂运动预定特性，并且所述至少一个系统计量传感器感测不同于所述臂运动预定特性的系统计量预定特性；其中，所述控制器被配置为登记来自所述至少一个臂运动传感器和所述至少一个系统计量传感器中的至少一个的数据，并且从登记的所述数据确定一组预定功能特性指标，每一个指标对应于输送所述衬底的臂运动或所述衬底处理系统的不同的相应预定功能特性，并且通告所述相应预定功能特性和由所述可移动臂输送的衬底的运动质量之间的关系；以及所述控制器被配置为从该组预定功能特性指标确定由所述可移动臂输送的衬底的整体运动质量的集成整体测量指标。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 博鲁可斯自动化美国有限责任公司 衬底处理系统
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