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申请/专利权人：国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
摘要：本发明公开了一种基于次级粒子的晶圆辐照点定位方法及系统，所述方法包括：步骤1、将多个粒子探测器布置在辐照点四周，将靶材放置在辐照质子流下；步骤2、辐照质子流照射辐照点上的靶材；步骤3、质子与晶圆发生核反应产生次级粒子，粒子探测器接收到散射的次级粒子；步骤4、依据点核积分算法，根据接收到的次级粒子信息，得到辐照点对单个探测器的距离，结合多个粒子探测器之间的距离得到辐照点的具体位置。本发明基于高能氢离子注入产生的次级粒子，依托粒子探测器可针对氢离子注入过程进行监控，结合点核积分算法反演，达到晶圆辐照点定位。
主权项：1.一种基于次级粒子的晶圆辐照点定位方法，其特征在于，包括：步骤1、将多个粒子探测器2布置在辐照点四周，将靶材放置在质子束流下方；步骤2、质子束流照射辐照点上的晶圆1，氦离子与靶材发生核反应产生次级粒子并散射；步骤3、粒子探测器2接收到散射的次级粒子；步骤4、依据点核积分算法，辐照点对于粒子探测器2视为一个点源，单个点源在探测点的通量为： 式中，En为次级光子能量，R为辐照点距离粒子探测器2的位置，B为剂量因子，SEn为En能光子对应的源强，tEn为平均自由程数；由此公式变形，依据不同粒子探测器2得到的次级粒子信息，计算得到多个粒子探测器2距离辐照点的距离R； 最后结合多个粒子探测器2之间的距离得到辐照点的具体位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司 一种基于次级粒子的晶圆辐照点定位方法及系统
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