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申请/专利权人：泰州东鼎光电科技有限公司

摘要：本发明涉及多晶硅加工技术领域，且公开了一种用于多晶硅加工的灰尘清理装置，包括支撑组件、连接组件、固定组件、震动组件和调动组件，支撑组件用于支撑连接各个组件，连接组件用于固定连接固定组件、震动组件和调动组件，通过设置连接组件，配合固定组件和震动组件可将硅片上的灰尘清理地更加彻底；通过设置固定组件，便将多晶硅稳定定位夹持；通过设置震动组件，将硅片上的灰尘震动掉落；通过设置调动组件，以调节连接转轴两端的稳定性，便于电机带动连接转轴转动；通过设置连接管和螺旋板，使得连接管中的气流进入螺旋板会加速，便于灰尘的清理收集，防止灰尘在螺旋板中堆积。

主权项：1.一种用于多晶硅加工的灰尘清理装置，包括支撑组件（100）、连接组件（200）、固定组件（300）、震动组件（400）和调动组件（500），支撑组件（100）用于支撑连接各个组件，连接组件（200）用于固定连接固定组件（300）、震动组件（400）和调动组件（500），固定组件（300）用于固定安装硅片，震动组件（400）用于产生震动对硅片进行清尘，调动组件（500）用于清尘过程中对硅片进行动态调节，其特征在于：所述支撑组件（100）包括有支架（101）、吹风机（102）和电机（103），吹风机（102）固定安装于支架（101）顶部中间位置，吹风机（102）下方连通连接组件（200），电机（103）固定安装于支架（101）一侧靠近连接组件（200）的位置；连接组件（200）包括有清尘仓（201）、连接管（202）、螺旋板（204）和两个连接转轴（207），两个连接转轴（207）分别活动安装于清尘仓（201）两侧中间位置，连接管（202）固定安装于清尘仓（201）底部且与清尘仓（201）连通，连接管（202）下方为螺旋板（204），螺旋板（204）上方和下方均固定安装有一个盖板（203），连接管（202）与螺旋板（204）相互连通，清尘仓（201）的一侧开设有舱门（205），舱门（205）用于将清尘仓（201）开关以方便硅片的取用；电机（103）活动连接清尘仓（201）一侧的连接转轴（207）的一端，清尘仓（201）另一侧的连接转轴（207）的一端固定安装有稳定块（208），连接转轴（207）靠近清尘仓（201）外侧的位置活动连接调动组件（500），连接转轴（207）靠近清尘仓（201）内侧的位置固定连接震动组件（400），两个连接转轴（207）之间固定连接六个均匀分布的固定组件（300），震动组件（400）和调动组件（500）之间底部均固定连接有连接支杆（206），连接支杆（206）底部固定安装于清尘仓（201）上。

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